誠南工業株式会社は真空装置の設計製作を行っております。

その他　装置一覧

　　　

活性化学種生成装置　NEW!!

半導体試料の基礎物質評価装置です。試料セット後の操作はすべて付属のPCにより制御・実行され、抵抗率・キャリータイプ・キャリアー濃度・移動度の演算結果が表示されます。ばね板プローブにより電気接触を確保する方式ですのでワイヤホンダは不要です。温度可変対応もあります。

　　　

ホール効果測定装置

半導体試料の基礎物質評価装置です。試料セット後の操作はすべて付属のPCにより制御・実行され、抵抗率・キャリータイプ・キャリアー濃度・移動度の演算結果が表示されます。ばね板プローブにより電気接触を確保する方式ですのでワイヤホンダは不要です。温度可変対応もあります。

　　　

昇温脱離分光(TDS)装置

低いバックグラウンド、高い温度制度、好感度より、高精度の強度きゃりぶレーションにより絶対測定が可能です。

　　

エッチング装置

反応性のイオンビームをつかい材料をエッチングする装置です。

　　

低温プローバ装置

ウェハーに針（プローブ）を当て電気を流し、正常に動作するかの確認を行う装置。

　　

反射率測定装置

偏光測定用θステージ・基板駆動部付の反射率測定装置です。

　　

その他装置

イオンリミング装置、イオンビーム電荷中和装置、機能性ナノ構造製造装置、ナノ表面評価システム、大型スペースチャンバー。